三菱开发出可用于气囊的新结构z轴加速度传感器

三菱电机开发出预计可用于气囊的新结构加速度传感器。并在“第20届微机械/MEMS展”上展示。

该传感器是能够检测硅底板垂直方向（z轴方向）上的加速度的1轴产品。比如，用作侧气囊的撞击传感器时，一般将配备传感器的印刷底板垂直配置以便于收入车体。因传感器检测的方向与印刷底板垂直，所以需要能够检测z轴撞击的传感器芯片。

该公司采用新结构制成了z轴加速度传感器，对于超过1万g的巨大撞击也能发挥作用。具体而言，铅锤（展示板上结构图的外框）因z轴方向的撞击下上下移动，与之相连的2块检测板均发生倾斜。由于撞击与倾斜相对应，因此可以检出由检测板上的电极和下部电极构成的电容器的容量变化。耐撞击性高是因为采用了检测板在封装内空气（N2气体）的粘性阻力下停止，而不撞击下部电极的设计。施加强烈撞击时，检测板迅速倾斜，粘性阻力随之迅速增强。另外，设置两块检测板是为了能够差动检测容量变化。

此次的结构还有可提高设计自由度的优点。许多MEMS加速度传感器的铅锤和检测部分为一体，为设定灵敏度而决定包括铅锤在内的结构时，由结构决定的共振频率也就确定下来了。因可检测的频带在共振频率以下，因此灵敏度和检测频带的自由度降低。而此次的结构中，铅锤与检测部分采用虽为弹簧连接但相互独立的结构。比起，弹簧的弹性系数及固定器（检测板的支撑部分）与连接梁（检测板与外框的连接部分）之间的距离等设计参数较多，因此灵敏度和共振频率可分别自由设计。

三菱电机已开始样品供货采用此结构的加速度传感器。如果客户决定采用，有可能于2010年开始量产。